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继续EUV之后 荷兰政府开始DUV设备出口限制 中方回应

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6月30日荷兰政府正式出台关于半导体制造设备的出口管制限领,这些管制主要针对先进芯片制造技术有关的设备,措施将于9月1日正式生效。

根据新的规则,荷兰半导体设备制造公司要为部分领先设备申请出口许可,并强调不是针对特定国家。

一次可以申请24个许可证,之后每年最多可以申请20个许可证。

此举将会对中国包括新能源汽车,以及智能驾驶等多个领域的发展造成影响。

针对性明显 

根据路透社的说法,美国与荷兰企图给中国芯片制造商一套持续的打击,目的是进一步限制对华销售芯片制造设备。

荷兰对外贸易和发展合作部大臣Schreinemacher表示:之所以这么做是处于国家安全考虑,对于受到影响的公司来说,他们有一定的时间来适应新的规则(指3个月)。这样我们就可以解决漏洞,而且不会对全球芯片制造产业造成不必要的干扰。一次

此前,曾经有消息人士透露,美国商务部也在酝酿半导体领域的限制动作。对此英伟达NV认为,这些限制动作虽然短时间不会对公司财务造成影响,但长时间看,代价有可能很沉重,甚至导致美国相关行业市区全球最大的市场。

荷兰对华半导体制造设备出口限制,显然这是在美国压力下的一系列动作。

中方回应

对此,中国驻荷兰王国大使馆发言人回应:荷兰政府正式出台半导体制造设备的出口管制措施,这是对出口管制措施的滥用,是对自由贸易和国际经贸规则的严重背离,中方对此坚决反对。

中方还表示:“当前,全球半导体产业已形成你中有我、我中有你的产业格局。中国是世界最大的半导体市场,也是全球半导体供应链的重要组成部分。荷方以所谓“国家安全”为由人为设限毫无道理,完全站不住脚。在科技领域人为制造壁垒,在法律上、道义上没有依据。这种行为不仅损害中国企业的正当合法权益,也会让荷兰企业蒙受损失,损害全球产业链供应链的稳定,还将破坏荷支持自由贸易的良好信誉。

众所周知,一段时间以来,个别大国一再泛化“国家安全”概念,滥用出口管制措施,对中国企业进行恶意封锁和打压,胁迫盟友参与对华经济遏制。我们呼吁荷方从维护国际经贸规则及中荷经贸合作大局出发,立即纠正错误做法。中方将坚决维护自身合法权益。同时,也愿与荷方一道,本着互利互惠的原则,共同探讨解决方案,共同推动中荷经贸关系健康发展。”

限制都包括哪些? 

只有虽然该限制只针对少数公司生产的特定设备,但依然起到了一定制约作用。主要受影响的公司是ASML,限制主要是最先进的浸润式DUV系统。此前EUV设备已经收到了限制。 

目前限制清单包括:

1、3B001.l :EUV pellicle

2、3B001.m:EUV pellicle生产设备

3、3B001.f.4:光刻设备,如下所示:

4、3B001.d.12:用于金属剥离的原子层沉积(ALD)设备

5、3B001.a.4:设计用于硅(Si)、碳掺杂硅、硅锗(SiGe)或碳掺杂SiGe外延生长的设备。

6、3B0001.d.19:设计用于在介电常数低于3.3的金属线之间的深度与高度之比(AR)等于或大于1:1的小于25nm宽的空间中沉积由无空穴等离子体增强的Low K电介质的设备。

7、3D007:专为开发、生产或使用本法规3B01.l.、3B01.m.、3B001.f.4、3B001.d.12、3B00.a.4或3B001.d..19中规定的设备而设计的软件。

8、3E005:开发、生产或使用本法规3B01.l.、3B01.m.、3B001.f.4、3B001.d.12、3B00.a.4或3B001.d..19中规定的设备所需的技术。

锁死中国7nm工艺?

美国加紧布局限制,目的是将中国芯片工艺制程锁定在14nm领域,此前荷兰独步领先的EUV光刻机已经被限制,如今先进DUV光刻机也被锁定出口。

今年6月19日,消息称ASML公司的六台DUV光刻机赶在限制之前抢先出口到中国,预计能够制造1.7亿枚芯片。

各方不懈努力下,目前中芯国际已经突破了14nm工艺制程实现量产。由于更先进的EUV设备限制严格,所以目前还无法实现7nm工艺制程。目前中国与荷兰在DUV和EUV设备方面还有很大的差距,所以限制对国内芯片制造行业有很大的制约作用。

根据数据显示,2023年中国在ISSCC国际固态电路会议上发表的沦为59篇(不含中国台湾),超过美国的42篇位列第一。另外在高压器件、低压器件、功率集成电路以及宽禁带功率半导体等方面也有突飞猛进的发展。另外,国内加大了对DUV甚至更先进的EUV制造方面的投资,以争取早日破局。

来源:第一电动网

作者:卡卡落

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